1      总体参数

2      工作原理

图1 微量水分发生器工艺流程图

（1）    湿路载气经减压阀2-1#调节到5bar AG，在饱和器中加湿，得到约2000ppm的饱和含湿气体；饱和含湿气体经过减压阀2-2#调节到2bar AG左右，再经质量流量控制器2#调节流量。

（2）    干路载气经减压阀1-1#调节到2bar AG左右，再经质量流量控制器1#调节流量。

（3）    干路和湿路气体流量比例控制在19：1，再经过混合器后得到湿度约100ppm的目标含湿气体输出。

（4）    饱和器通过冷水机控温，使其温度在10℃

3   设备接口  

桌面式机箱，

载气入口：1/8’’ 卡套

气体出口：1/8’’ 卡套