设备配备预压料桶、与大气隔离的泵模组、高稳定/耐腐蚀蒸发器以及一体化设计的嵌入式预热器。液态前驱体经过蒸发段气化，随后调温输出。输出组分进一步分布或混合，为CVD工艺提供气态原料。前驱体接触的材质均采用耐腐蚀材料。
PLC控制系统，Ethernet通讯，与CVD生产线主控系统通讯。
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含锡前驱体 |
≤60 |
sccm |
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含氟前驱体 |
≤20 |
sccm |
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H2O |
≤60 |
sccm |
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功率 |
7.5 |
kW |
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